分子式:C2H2Cl2
分子量:96.94
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| 分子式 | C2H2Cl2 |
|---|---|
| 分子量 | 96.94 |
| 产地 | 江苏 |
| 产品名称 | 电子级反式-1，2-二氯乙烯(DCE) |
| 密度 | 1.256g/mL |
| 认证 | ISO9001 |
| 外观 | 无色略带刺激气味液体 |
| 品牌 | 奇材馆 |
| 型号 | ECS003426 |
一、产品概述
名称：电子级反式-1，2-二氯乙烯(DCE)
简介：无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.256g/mL。易燃。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
二、应用领域
高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的优异的氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走，达到清洗管道的目的。
三、指标
| 分析项目 | 技术指标 |
| 7.5N | |
| 纯度（%)，min | 99.999995 |
| Si，max | 0.3 ppb |
| B，max | 0.3 ppb |
| P，max | 0.3 ppb |
| 酸度，max | 0.38 ppm |
| 水分，max | 12.85 ppm |
| 主含量(%)，min | 99.97 |
| 颗粒数≥0.1μm，max | 0.97 p/ml |
| 颗粒数≥0.2μm，max | 0.3 p/ml |
| 颗粒数≥0.5μm，max | 0.3 p/ml |
| 色度，max | 10APHA |
